Фотолитография

Учебно-методический комплекс. - Екатеринбург, УрГУ им. А. М. Горького, 2008.Учебно-методические комплекс предназначен для студентов, изучающих специальную дисциплину «Фотолитография», и призваны помочь успешному освоению материала курса и достижению основной его цели – ознакомление с методиками формирования микро- и наноструктур на поверхности различных материалов с помощью методов микро- и нанолитографии.Учебно-методический комплекс состоит из 5 файлов:
Вопросы для самоконтроля
Презентация курса лекций
Экзаменационные материалы
Методические указания
Программа дисциплины.